Transduser Tekanan silikon

– memanfaatkan silikon sebagai bahan strain ukur dan diafragmanya, rangkaian bisa terintegrasi
– lebih sensistif dari metal karena strain (displacement) dan sifat piezoresistif muncul bersamaan
– selalu menggunakan 4 gauge dalam jembatan, masalah yang dihadapi

• gauge tidak identik
• sangat sensitif terhadap temperatur

– alternatif solusi:

• eksitasi arus
• kompensasi tegangan jembatan
• kompensasi penguatan amplifier

Gambar 3.53 Straingage piezoresistif:
(a) phisik peizoresistif straingage,
(b) karakteristik peizoresistif sg,
(c) respon temperatur pada konfigurasi jembatan

– konstruksi sensor tekanan silikon

• diafragma dengan proses etsa
• strain gauge dengan difusi dopan

Gambar 3.54 Sensor tekanan jenis diafragma silicon: (a) diafragma datar, (b) diafragma melingkar lebih sensitif

– konstruksi paket sensor tekanan silikon dengan rangkaian kompensasi dan penguat

Gambar 3.55 Sensor tekanan semikonduktor:
(a) konstruksi sensor, (b)blok diagram rangkaian sensor